第386章 45纳米光刻机(2/2)
王研究员没回头，又看了十几秒，才直起腰。他把老花镜摘下来，没说话，先呼出一口气。
「线宽，四十五纳米，正负零点五。均匀性，偏差百分之三。」
他顿了顿，把老花镜重新戴上，又看了一眼显微镜，才补了一句。
「合格率，百分之九十五。」
车间里安静了一秒。不是那种死寂，是那种憋了很久的丶不敢相信的安静。然后角落里有人笑了一声，很低，像松了口气。接着有人拍了一下大腿，有人蹲下去，有人把本子合上，呼出一口气。
周厂长站在操作台前头，手指还按在那个紧急停止按钮上，没松开，指节发白。他愣了两秒，把手收回来，在裤子上蹭了蹭手心的汗。
「成了。」他说。
声音不大，但车间里每个人都听见了。
何雨柱站在人群后头，没动。他看着那些技术员蹲在地上抱着头，看着王研究员摘下老花镜又戴上，看着周厂长站在操作台前头一动不动。他没说话，转身走出车间。
外头的天快黑了，路灯刚亮，昏黄的光照着厂区的水泥路。他站在门口，从口袋里摸出烟，点上，吸了一口。烟雾在风里散得很快。
晚上，何雨柱住在厂招待所。他坐在床上，把那份名单从系统空间里拿出来，翻到「光刻机」那一页，在「45纳米」三个字后头，他加了一行字：上海无线电厂丶中科院微电子所丶钱致远材料所联合攻关，第七次试机成功，线宽45纳米正负0.5纳米，合格率95%。
写完了，把名单放回去，锁好。
第二天一早，何雨柱去了钱致远的研究所。钱致远在实验室里，蹲在一台显微镜前头，看一块材料的切片。他听见门响，抬起头，摘下老花镜。
「小何，成了？」
何雨柱在他对面坐下。「成了。您的材料立功了。」
钱致远没笑。他站起来，走到柜子前头，拿出一块银白色的金属，递给何雨柱。何雨柱接过来，沉甸甸的，表面光滑，在灯光下泛着冷光。
「这是新配方。热膨胀系数比上一版还低三成，透光率提高一成。用在下一代光刻机上，能做更细的线宽。」
何雨柱掂了掂那块金属。「三十二纳米？」
钱致远点点头。「理论上是。得试验。得有人，有设备，有时间。」
何雨柱把金属还给他。「人从各所调。设备从国外买。时间，五年。五年后，我要看到三十二纳米光刻机。」
钱致远把金属放回柜子里，关上柜门。「行。我搞。」
何雨柱站起来，伸出手。钱致远握住，摇了摇。
「钱所长，您保重。」
「你也是。」
回到北京，天已经黑了。何雨柱刚进办公室，桌上的电话就响了。他接起来，那头先是一阵嘈杂——有人在喊「加压」，有人在读数据，然后林建国的声音传来，不是喊，是那种压着嗓子丶带着喘的丶像跑了长跑之后的声音。
「院长，晶片到了。」
何雨柱没说话。
电话那头顿了一下，传来什么东西放在桌上的声音，很轻，但很稳。
「线宽正负零点三，比设计指标还好。院长，星河六号……它能跑了。」
何雨柱握着话筒，听见那头有人哭了。